由開山上海通用機(jī)械研究院自主研發(fā)的離心式雙介質(zhì)氣體組合壓縮機(jī)日前在江蘇某全球領(lǐng)先的集成電路制造企業(yè)順利完成調(diào)試并投入使用，各項(xiàng)參數(shù)達(dá)到設(shè)計(jì)要求，獲得用戶好評。
眾所周知，半導(dǎo)體行業(yè)八大核心材料中，電子氣體是僅次于硅的主要原材料，其在半導(dǎo)體晶圓制造材料價(jià)值中的占比為13.5%。電子氣體在電子產(chǎn)品制造工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相、沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”。電子半導(dǎo)體器件的性能優(yōu)劣與電子氣體的質(zhì)量息息相關(guān)，而高純度/超高純度氮是電子氣體中極其重要的成員之一，其在惰性保護(hù)、載氣、特種氣體、管道吹掃排氣、稀釋、等離子注入等半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)中都是不可或缺的原料氣和工藝氣。而離心式雙介質(zhì)氣體組合壓縮機(jī)組則是高純氮生產(chǎn)工藝中的核心裝備。長期以來其該類型壓縮機(jī)市場一直由美國企業(yè)所壟斷。
本次成功投運(yùn)的機(jī)組是開山制造、完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)首臺(tái)套該類型壓縮機(jī)，其使用于一世界500強(qiáng)國際知名氣體公司的制氮系統(tǒng)之中，這也是這家企業(yè)首次與中國壓縮機(jī)廠商進(jìn)行合作。本次投運(yùn)成功，極大的提升了該公司高純氮制備系統(tǒng)的市場競爭力。這是雙方四年共同努力的結(jié)果。
與此同時(shí)，兩套運(yùn)用于國產(chǎn)高純氮制備系統(tǒng)的該類型壓縮機(jī)調(diào)試工作也已收尾，各項(xiàng)參數(shù)達(dá)到設(shè)計(jì)需求，甚至部分參數(shù)超越了設(shè)計(jì)需求.
過去二十年里，開山持續(xù)在核心技術(shù)上進(jìn)行大強(qiáng)度投入，逐步在螺桿、透平、往復(fù)等各類型壓縮機(jī)、膨脹機(jī)、真空泵等諸多領(lǐng)域構(gòu)建起一定技術(shù)優(yōu)勢。在目前“國產(chǎn)化”需求日益高漲的背景之下，這種技術(shù)優(yōu)勢使得我們的中國用戶不僅不會(huì)因“國產(chǎn)化”去犧牲所需設(shè)備的品質(zhì)，反而“國產(chǎn)化”后獲得了更可靠的產(chǎn)品質(zhì)量和更低的能源消耗。而對于我們的國際用戶則是發(fā)現(xiàn)以開山為代表的中國裝備為他們帶來了更大的獲益。本次離心式雙介質(zhì)氣體組合壓縮機(jī)的投運(yùn)成功只是前述文字一個(gè)小小的例證吧。